Изучение методом Резерфордовского обратного рассеяния профилей кислорода, имплантированных в углеродные волокна

Abstract

Выпускная квалификационная работа содержит 69 страниц, 21 рисунок и 12 таблиц. Ключевые слова: метод Резерфордовского обратного рассеяния, углеродные волокна, имплантированный кислород. Объектом исследования данной дипломной работы являются углеродные волокна, имплантированные кислородом. Целью выпускной квалификационной работы является исследование возможности применения метода Резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия для измерения профилей концентрации и распределения кислорода по глубине в углеродных волокнах при ионной имплантации кислорода. В процессе работы проводилось изучение физических основ метода Резерфордовского обратного рассеяния, исследование параметров спектрометрического тракта, определение элементного состава эталонного образца и эксперимент по определению профиля концентрации приповерхностного слоя углеродного волокна при облучении его ионами кислорода. В результате представлена информация, полученная методом Резерфордовского обратного рассеяния, о распределении имплантированного кислорода в образцах углеродных волокон, которые находят широкое применение в самолётостроении и автомобилестроении, в аэрокосмической, электротехнической, химической промышленности.

Final qualifying work contains 69 pages, 21 Figures and 12 Tables. Keywords: method of Rutherford backscattering, carbon fibers, implanted oxygen. The object of study of this thesis are carbon fibers, implanted oxygen. The purpose of final qualifying work is to investigate the possibility of applying the method of Rutherford backscattering (RBS) of helium ions to measure the concentration profiles and oxygen distribution in the depth of carbon fibers by ion implantation of oxygen. In the process, carried out to study the physical basis of the method of Rutherford backscattering spectrometry study parameters path, the definition of a reference sample elemental composition and experiment to determine the concentration profile of the surface layer of the carbon fiber irradiated by oxygen ions. As a result, provided the information obtained by the Rutherford backscattering, on the distribution of implanted oxygen in the carbon fiber samples, which are widely used in aircraft and automotive, aerospace, electrical engineering, chemical industry.