1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorКривобоков, Валерий Павловичru
dc.contributor.authorЮрьев, Юрий Николаевичru
dc.date.accessioned2016-07-04T02:23:22Z-
dc.date.available2016-07-04T02:23:22Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationЮрьев Ю. Н. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2016.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectПленки тонкие — Исследование — (твердые тела)ru
dc.subjectдиссертацииru
dc.subjectоксид титанаru
dc.subjectуглеродru
dc.subjectаморфный углеродru
dc.subjectмагнетронные системыru
dc.subjectраспылительные системыru
dc.subjectтонкопленочные покрытияru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectосаждениеru
dc.titleСвойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07ru
dc.typeThesis-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersion-
dcterms.audienceResearches-
local.filepathdis00002-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\343662-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\19671-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30543-
local.localtypeДиссертацияru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
dis00002.pdf3,76 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.