Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/355| Title: | Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков |
| Authors: | Петров, Александр Васильевич Полковникова, Н. М. Рябчиков, Александр Ильич Сохорева, Валентина Викторовна Степанов, Игорь Борисович Струц, В. К. Усов, Юрий Петрович Шулепов, Иван Анисимович |
| Keywords: | массоперенос; имплантированные примеси; материалы; многократное воздействие; ионные пучки; результаты; закономерности; системы; ионная имплантация; облучение; удельный энерговклад; анализы; образцы; обработка; внедрение; морфология поверхности; исследования |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков / А. В. Петров [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2004. — Т. 307, № 4. — [С. 71-74]. |
| Abstract: | Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация ? облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом?2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/355 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2004-307-4-14.pdf | 2,48 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.