Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/355
Название: Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков
Авторы: Петров, Александр Васильевич
Полковникова, Н. М.
Рябчиков, Александр Ильич
Сохорева, Валентина Викторовна
Степанов, Игорь Борисович
Струц, В. К.
Усов, Юрий Петрович
Шулепов, Иван Анисимович
Ключевые слова: массоперенос; имплантированные примеси; материалы; многократное воздействие; ионные пучки; результаты; закономерности; системы; ионная имплантация; облучение; удельный энерговклад; анализы; образцы; обработка; внедрение; морфология поверхности; исследования
Дата публикации: 2004
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков / А. В. Петров [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2004. — Т. 307, № 4. — [С. 71-74].
Аннотация: Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация ? облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом?2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/355
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2004-307-4-14.pdf2,48 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.