Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/355
Название: | Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков |
Авторы: | Петров, Александр Васильевич Полковникова, Н. М. Рябчиков, Александр Ильич Сохорева, Валентина Викторовна Степанов, Игорь Борисович Струц, В. К. Усов, Юрий Петрович Шулепов, Иван Анисимович |
Ключевые слова: | массоперенос; имплантированные примеси; материалы; многократное воздействие; ионные пучки; результаты; закономерности; системы; ионная имплантация; облучение; удельный энерговклад; анализы; образцы; обработка; внедрение; морфология поверхности; исследования |
Дата публикации: | 2004 |
Издатель: | Томский политехнический университет |
Библиографическое описание: | Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков / А. В. Петров [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2004. — Т. 307, № 4. — [С. 71-74]. |
Аннотация: | Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация ? облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом?2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/355 |
Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
bulletin_tpu-2004-307-4-14.pdf | 2,48 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.