Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Линник, Степан Андреевич | ru |
| dc.contributor.author | Гайдайчук, Александр Валерьевич | ru |
| dc.contributor.author | Шаманин, Игорь Владимирович | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-20T02:59:45Z | - |
| dc.date.available | 2015-11-20T02:59:45Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Линник С. А. Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий / С. А. Линник, А. В. Гайдайчук, И. В. Шаманин // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 86-88]. | ru |
| dc.identifier.issn | 1684-8519 | - |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624 | - |
| dc.description.abstract | Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2011. Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Известия Томского политехнического университета | - |
| dc.subject | тлеющий разряд | - |
| dc.subject | полые катоды | - |
| dc.subject | плазмохимические реакции | - |
| dc.subject | осаждение из газовой фазы | - |
| dc.subject | азотирование | - |
| dc.subject | поверхности | - |
| dc.subject | модификация | - |
| dc.title | Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 86 | - |
| local.description.lastpage | 88 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v318/i2/18.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\212318 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\28210 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\28207 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\22022 | - |
| local.issue | 2 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| local.volume | 318 | - |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2011-318-2-18.pdf | 156,06 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.