1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorНикитенков, Николай Николаевичru
dc.contributor.authorКиселева, Евгения Сергеевнаru
dc.date.accessioned2017-03-15T11:07:08Z-
dc.date.available2017-03-15T11:07:08Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationКиселева Е. С. Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Е. С. Киселева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Н. Н. Никитенков. — Томск, 2016. — 113 л. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectТонкопленочные покрытияru
dc.subjectдиссертацииru
dc.subjectфизико-механические свойстваru
dc.subjectпленкиru
dc.subjectдиоксид титанаru
dc.subjectоксинитрид титанаru
dc.subjectреактивное магнетронное распылениеru
dc.subjectмеханические свойстваru
dc.subjectструктурыru
dc.subjectэлементный составru
dc.subjectимпульсное магнетронное распылениеru
dc.subjectмасс-спектрометрияru
dc.subjectрентгенофазовый анализru
dc.titleФизико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.07ru
dc.typeThesis-
dc.typeDissertation-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersion-
dcterms.audienceResearches-
local.filepathdis00170.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\354290-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\18734-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\31773-
local.localtypeДиссертацияru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат физико-математических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
dis00170.pdf3,65 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.