Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorСергеев, Виктор Петровичru
dc.contributor.authorФедорищева, М. В.ru
dc.contributor.authorСунгатулин, А. Р.ru
dc.contributor.authorНикалин, А. Ю.ru
dc.contributor.authorНейфельд, В. В.ru
dc.date.accessioned2015-11-20T03:01:22Z-
dc.date.available2015-11-20T03:01:22Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationСтруктура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления / В. П. Сергеев [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 103-108].ru
dc.identifier.issn1684-8519-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874-
dc.description.abstractМетодом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofИзвестия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2011. Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика-
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.sourceИзвестия Томского политехнического университета-
dc.subjectмагнетронное осаждение-
dc.subjectионная бомбардировка-
dc.subjectпокрытия-
dc.subjectнитриды-
dc.subjectкремний-
dc.subjectалюминий-
dc.subjectтермостойкость-
dc.subjectфазовый состав-
dc.subjectтермомеханические свойства-
dc.subjectатомно-силовая микроскопия-
dc.subjectрентгеноструктурный анализ-
dc.subjectтермоциклическая стойкость-
dc.titleСтруктура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыленияru
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage103-
local.description.lastpage108-
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\221430-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\25827-
local.issue2-
local.localtypeСтатьяru
local.volume319-
Располагается в коллекциях:Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2011-319-2-22.pdf4,34 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.