Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Сергеев, Виктор Петрович | ru |
dc.contributor.author | Федорищева, М. В. | ru |
dc.contributor.author | Сунгатулин, А. Р. | ru |
dc.contributor.author | Никалин, А. Ю. | ru |
dc.contributor.author | Нейфельд, В. В. | ru |
dc.date.accessioned | 2015-11-20T03:01:22Z | - |
dc.date.available | 2015-11-20T03:01:22Z | - |
dc.date.issued | 2011 | - |
dc.identifier.citation | Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления / В. П. Сергеев [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 103-108]. | ru |
dc.identifier.issn | 1684-8519 | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874 | - |
dc.description.abstract | Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2011. Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика | - |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.source | Известия Томского политехнического университета | - |
dc.subject | магнетронное осаждение | - |
dc.subject | ионная бомбардировка | - |
dc.subject | покрытия | - |
dc.subject | нитриды | - |
dc.subject | кремний | - |
dc.subject | алюминий | - |
dc.subject | термостойкость | - |
dc.subject | фазовый состав | - |
dc.subject | термомеханические свойства | - |
dc.subject | атомно-силовая микроскопия | - |
dc.subject | рентгеноструктурный анализ | - |
dc.subject | термоциклическая стойкость | - |
dc.title | Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления | ru |
dc.type | Article | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 103 | - |
local.description.lastpage | 108 | - |
local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v319/i2/22.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\221430 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\25827 | - |
local.issue | 2 | - |
local.localtype | Статья | ru |
local.volume | 319 | - |
Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
bulletin_tpu-2011-319-2-22.pdf | 4,34 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.