Осаждение барьерных (антидиффузионных) слоёв для термоэлектрических модулей на основе алмазоподобных углеродных плёнок

Abstract

Выпускная квалификационная работа 77 с., 13 рис., 17 табл., 39 источников. Объектом исследования являются алмазоподобные углеродные покрытия, полученные методом магнетронного распыления с использованием графитового катода. Целью работы является получение барьерных слоев для термоэлектрических модулей на основе углеродных пленок формируемых методом магнетронного распыления. В процессе работы проводилась оптимизация процесса осаждения и экспериментальные исследования полученных пленок. В результате исследования были получены углеродные пленки с удельным сопротивлением до величины 10-2 Ом•см (a-C). После включения в углеродные пленки никеля удельное сопротивление снижается до величины 10-4 Ом•см (a-C:Ni), твердость полученных покрытий составляет 4-5 Гпа, адгезионная прочность на полупровод

Graduation qualification work 77 pp., 13 Fig., 17 table, 39 sources. The object of the study are diamond-like carbon coatings obtained by magnetron sputtering using a graphite cathode. The aim of the work is to obtain barrier layers for thermoelectric modules based on carbon films formed by the method of magnetron sputtering. In the course of the work, the deposition process was optimized and experimental studies of the films were carried out. As a result of the study, carbon films with specific resistivity up to 10-2 ohm-cm (a-C) were obtained. After incorporation into nickel carbon films, the resistivity decreases to 10-4 ohm-cm (a-C: Ni), the hardness of the resulting coatings is 4-5 GPa, the adhesion strength on the semiconductor substrate is 2 kg / mm2. Scope: increase the service lif