Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39139
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorЛавринович, Валерий Александровичru
dc.contributor.authorЛусс, Артём Андреевичru
dc.date.accessioned2017-06-05T07:18:24Z-
dc.date.available2017-06-05T07:18:24Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationЛусс А. А. Обнаружение латентных дефектов в тонкопленочных покрытиях с помощью коронного разряда : магистерская диссертация / А. А. Лусс ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Энергетический институт (ЭНИН), Кафедра электроэнергетических систем (ЭЭС) ; науч. рук. В. А. Лавринович. — Томск, 2017.-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/39139-
dc.description.abstractОбъектом исследования являются латентные дефекты в тонких диэлектрических пленках. Цель работы – исследование возможности выявления латентных дефектов в диэлектрических пленках воздействием электрического поля. В процессе работы на основе проведенного обзора литературы была разработана методика определения скрытых сквозных отверстий в тонких диэлектрических пленках, под эту методику разработана и создана экспериментальная установка. На установке были проведены экспериментальные исследования по возможности обнаружения латентных дефектов в виде сквозных отверстий в тонких диэлектрических пленках воздействием электрическим полем. Установлены параметры конфигурации межэлектродного промежутка, расстояния между электродами, остаточного давления газа в рабочем объеме, прикладываемого напряжения иru
dc.description.abstractThe object of the study are latent defects in thin dielectric films. The aim of this work is to investigate the possibilities of latent defects in dielectric films by the action of an electric field. In the course of work, based on the review of the literature, a technique was developed for determining hidden holes in thin dielectric films, this method and the experimental setup created. Experimental studies were conducted on the possibilities of access to the laboratory. The established parameters for the configuration of the interelectrode gap, the distance between the electrodes, the residual gas pressures in the working volume, the applied voltage and range, in the presence of a defect and without a defect. The effect of the work done is the experimental regimes in which end-to-end defen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectдиэлектрическая пленкаru
dc.subjectтонкопленочное покрытиеru
dc.subjectкоронный разрядru
dc.subjectтлеющий разрядru
dc.subjectлатентный дефектru
dc.subjectсквозное отверстиеru
dc.subjectdielectric filmsen
dc.subjectlatent defecten
dc.subjectglow dischargeen
dc.subjectthin film coatingen
dc.subjectcorona dischargeen
dc.titleОбнаружение латентных дефектов в тонкопленочных покрытиях с помощью коронного разрядаru
dc.typeStudents work-
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Энергетический институт (ЭНИН)::Кафедра электроэнергетических систем (ЭЭС)-
local.institut6266-
local.localtypeСтуденческая работа-
dc.subject.oksvnk13.04.02-
local.thesis.levelМагистрru
local.thesis.disciplineЭлектроэнергетика и электротехника-
local.local-vkr-id216570-
local.vkr-id21827-
local.stud-group5АМ5А-
local.lichnost-id151376-
local.thesis.level-id3-
local.tutor-lichnost-id58810-
dc.subject.udc621.793.1:539.216.2:620.19-
Располагается в коллекциях:Магистерские диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
TPU376770.pdf2,49 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.