Зависимость свойств плёнок аморфного углерода от материала катода

Abstract

Объектом исследования являются свойства тонких плёнок аморфного углерода. Цель работы – исследование зависимости свойств полученных покрытий аморфного углерода от материала катода. В процессе исследования проводились: получение покрытий на дуальной МРС, исследование свойств полученных покрытий: твердость, модуль упругости, коэффициент трения, шероховатость, определение структуры покрытий методом Рамановского рассеяния, описание полученных результатов. В результате исследования изучены методики осаждения углеродных покрытий при помощи дуальной конструкции магнетрона, получены покрытия аморфного углерода, сравнение которых производилось в зависимости от рабочих параметров эксперимента и от типа распыляемой мишени.

The object of research is the properties of thin films of amorphous carbon. The aim of the work was to study the dependence of the properties of the obtained coatings of amorphous carbon from the cathode material. In the process of research was conducted to: obtain coatings on dual RSM, a study of the properties of these coatings: hardness, elastic modulus, friction coefficient, roughness, determination of the structure of coatings by Raman scattering, description of the obtained results. The study explored methods of deposition of carbon coatings by using dual magnetron design, the resulting coating is amorphous carbon, the comparison of which is produced in dependence on operating parameters of the experiment and on the type of sputtering target.