Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления

Abstract

В этой работе представлены результаты измерения толщины никелевых покрытий. Никелевые покрытия были нанесены на сплавах циркония Zr-1Nb и Si методом магнетронного распыления. Толщина никелевых покрытий измерена методом сканирующей электронной микроскопии (SEM), методом шарового истирания и неразрушающим методом рентгеновской дифракции.

In this paper, the results of measurements of nickel coating thickness are presented. Ni coatings were deposited onto zirconium alloy Zr-1Nb and Si wafers by magnetron sputtering. The thickness of Ni coatings was measured by scanning electron microscopy (SEM), ball abrasion method and the developed non-destructive XRD method.