Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39611
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Евдокимов, Кирилл Евгеньевич | ru |
dc.contributor.author | Назарбекова, Назерке Кайраткызы | ru |
dc.date.accessioned | 2017-06-08T09:04:37Z | - |
dc.date.available | 2017-06-08T09:04:37Z | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.citation | Назарбекова Н. К. Зондовые измерения параметров плазмы при осаждении тонких плёнок оксидов и нитридов титана методом реактивного магнетронного напыления : магистерская диссертация / Н. К. Назарбекова ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. К. Е. Евдокимов. — Томск, 2017. | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39611 | - |
dc.description.abstract | Целью работы является исследовать параметры плазмы при магнетронном напылении оксидов и нитиридов титана методом двойного зонда Ленгмюра. В работе представлены теоретические основы по биоматериалам, методам осаждения покрытий, диагностики плазмы методом зонда Ленгмюра, методам обработки данных двойного зонда и сглаживанию данных. В ходе работы с помощью двойного зонда Ленгмюра несколькими методами были определены параметры плазмы магнетронного разряда такие как, температура электронов и концентрация ионов. Полученные результаты позволяют оптимизировать расположение образцов в различных режимах со смещением и без смещения. | ru |
dc.description.abstract | The aim of this work is to investigate the plasma parameters during magnetron sputtering of oxides and nitrides titanium double Langmuir probe. The paper presents a theoretical basis on biomaterials, methods of deposition of coatings, plasma diagnostics by the method of Langmuir probe, methods of data processing the double probe and smoothing of the data. In the course of work using a double Langmuir probe multiple methods determined parameters of the magnetron discharge plasma such as electron temperature and ion concentration. The obtained results allow to optimize the location of the samples in different modes, with displacement and without displacement. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | оксид и нитрид титана | ru |
dc.subject | реактивное магнетронное распыление | ru |
dc.subject | диагностика плазмы | ru |
dc.subject | двойной зонд Ленгмюра | ru |
dc.subject | методы сглаживание данных | ru |
dc.subject | titanium oxide and nitride | en |
dc.subject | reactive magnetron sputtering | en |
dc.subject | plasma diagnostics | en |
dc.subject | double probe Langmuir | en |
dc.subject | methods for smoothing data | en |
dc.title | Зондовые измерения параметров плазмы при осаждении тонких плёнок оксидов и нитридов титана методом реактивного магнетронного напыления | ru |
dc.type | Students work | - |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) | - |
local.institut | 6270 | - |
local.localtype | Студенческая работа | - |
dc.subject.oksvnk | 16.04.01 | - |
local.thesis.level | Магистр | ru |
local.thesis.discipline | Техническая физика | - |
local.local-vkr-id | 230858 | - |
local.vkr-id | 22887 | - |
local.stud-group | 0ДМ51 | - |
local.lichnost-id | 152582 | - |
local.thesis.level-id | 3 | - |
local.tutor-lichnost-id | 57461 | - |
dc.subject.udc | 539.216.2:661.88:621.793.3:553.9 | - |
Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU391010.pdf | 2,16 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.