Зондовые измерения параметров плазмы при осаждении тонких плёнок оксидов и нитридов титана методом реактивного магнетронного напыления

Abstract

Целью работы является исследовать параметры плазмы при магнетронном напылении оксидов и нитиридов титана методом двойного зонда Ленгмюра. В работе представлены теоретические основы по биоматериалам, методам осаждения покрытий, диагностики плазмы методом зонда Ленгмюра, методам обработки данных двойного зонда и сглаживанию данных. В ходе работы с помощью двойного зонда Ленгмюра несколькими методами были определены параметры плазмы магнетронного разряда такие как, температура электронов и концентрация ионов. Полученные результаты позволяют оптимизировать расположение образцов в различных режимах со смещением и без смещения.

The aim of this work is to investigate the plasma parameters during magnetron sputtering of oxides and nitrides titanium double Langmuir probe. The paper presents a theoretical basis on biomaterials, methods of deposition of coatings, plasma diagnostics by the method of Langmuir probe, methods of data processing the double probe and smoothing of the data. In the course of work using a double Langmuir probe multiple methods determined parameters of the magnetron discharge plasma such as electron temperature and ion concentration. The obtained results allow to optimize the location of the samples in different modes, with displacement and without displacement.