Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39643
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Евдокимов, Кирилл Евгеньевич | ru |
dc.contributor.author | Медетхан, Арай Еренбайкызы | ru |
dc.date.accessioned | 2017-06-08T10:54:33Z | - |
dc.date.available | 2017-06-08T10:54:33Z | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.citation | Медетхан А. Е. Моделирование гистерезиса процесса реактивного магнетронного напыления оксидов и нитридов титана : магистерская диссертация / А. Е. Медетхан ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. К. Е. Евдокимов. — Томск, 2017. | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39643 | - |
dc.description.abstract | В работе представлены теоретические основы по плёнкам, методы осаждения, модель Берга и Деплы, реализация модели Деплы в программных продуктах.В ходе работы были определены зависимости гистерезиса от параметров процесса и определены области гистерезиса, а также теоретические данные были сравнены с экспериментальными данными. | ru |
dc.description.abstract | This work presents theoretical basics on films, deposition methods, the Berg and Depla model, the implementation of the Depla's model in software products. In the course of the work, hysteresis dependencies on the process parameters and hysteresis regions were determined, and theoretical data were compared with experimental data. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | оксид и нитрид титана | ru |
dc.subject | реактивное магнетронное напыление | ru |
dc.subject | гистерезис | ru |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | модель Берга | ru |
dc.subject | titanium oxide and nitride | en |
dc.subject | reactive magnetron sputtering | en |
dc.subject | hysteresys | en |
dc.subject | plasma | en |
dc.subject | model of Berg | en |
dc.title | Моделирование гистерезиса процесса реактивного магнетронного напыления оксидов и нитридов титана | ru |
dc.type | Students work | - |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) | - |
local.institut | 6270 | - |
local.localtype | Студенческая работа | - |
dc.subject.oksvnk | 16.04.01 | - |
local.thesis.level | Магистр | ru |
local.thesis.discipline | Техническая физика | - |
local.local-vkr-id | 230852 | - |
local.vkr-id | 22881 | - |
local.stud-group | 0ДМ51 | - |
local.lichnost-id | 152578 | - |
local.thesis.level-id | 3 | - |
local.tutor-lichnost-id | 57461 | - |
dc.subject.udc | 661.88:621.793.7 | - |
Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU390129.pdf | 5,35 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.