Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39792
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Умнов, Сергей Павлович | ru |
dc.contributor.author | Теменков, Владимир Сергеевич | ru |
dc.date.accessioned | 2017-06-09T10:18:38Z | - |
dc.date.available | 2017-06-09T10:18:38Z | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.citation | Теменков В. С. Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона : магистерская диссертация / В. С. Теменков ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. С. П. Умнов. — Томск, 2017. | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39792 | - |
dc.description.abstract | Тонкие пленки оксида олова были осаждены на стеклянные подложки при комнатной температуре с помощью реактивного магнетронного распыления при различных парциальных давлениях кислорода. После осаждения пленки подвергались облучению пучком ионов аргона. Было изучено изменение оптических и электрических свойств пленок в зависимости от времени облучения. | ru |
dc.description.abstract | Thin films of tin oxide were deposited on glass substrates at room temperature by reactive magnetron sputtering at various partial oxygen pressures. After deposition, the films were irradiated with a beam of argon ions. The change in the optical and electrical properties of the films as a function of the irradiation time was studied. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | магнетронная распылительная система | ru |
dc.subject | ионный пучок | ru |
dc.subject | оксид олова | ru |
dc.subject | коэффициент пропускания | ru |
dc.subject | поверхностное сопротивление | ru |
dc.subject | ренгенофазный состав | ru |
dc.subject | прозрачный проводящий оксид | ru |
dc.subject | tin oxide | en |
dc.subject | ion beam | en |
dc.subject | transmittance | en |
dc.subject | surface resistance | en |
dc.subject | transparent conductive oxide | en |
dc.subject | X-ray Diffraction | en |
dc.title | Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона | ru |
dc.type | Students work | - |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) | - |
local.institut | 6270 | - |
local.localtype | Студенческая работа | - |
dc.subject.oksvnk | 16.04.01 | - |
local.thesis.level | Магистр | ru |
local.thesis.discipline | Техническая физика | - |
local.local-vkr-id | 237326 | - |
local.vkr-id | 22893 | - |
local.stud-group | 0ДМ51 | - |
local.lichnost-id | 152585 | - |
local.thesis.level-id | 3 | - |
local.tutor-lichnost-id | 61552 | - |
dc.subject.udc | 539.216:669.6:661.88:546.29 | - |
Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU395267.pdf | 2,41 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.