Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorБожко, Ирина Александровнаru
dc.contributor.authorКалиева, Р. А.ru
dc.contributor.authorРыбалко, Е. В.ru
dc.date.accessioned2017-07-17T22:02:34Z-
dc.date.available2017-07-17T22:02:34Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationКалиева Р. А. Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения / Р. А. Калиева, Е. В. Рыбалко ; науч. рук. И. А. Божко // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — Т. 1 : Физика. — [С. 156-158].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438-
dc.description.abstractWe present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass.en
dc.language.isoruen
dc.publisherИзд-во ТПУru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2017.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectтранспортные средстваru
dc.subjectоптикаru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectмагнетронное осаждениеru
dc.subjectфизико-механические свойстваru
dc.titleИсследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осажденияru
dc.title.alternativeInvestigation of microstructure, phase state and properties of Al-Si-N system coatings obtained by magnetron sputteringen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Кафедра наноматериалов и нанотехнологий (НМНТ)ru
local.description.firstpage156-
local.description.lastpage158-
local.filepathconference_tpu-2017-C21_V1_p156-158.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\21470-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\18685-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наук-
local.conference.date2017-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2017-C21_V1_p156-158.pdf193,72 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.