Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Пичугин, Владимир Федорович | ru |
| dc.contributor.author | Сунь Чжилэй | ru |
| dc.contributor.author | Конищев, Максим Евгеньевич | ru |
| dc.contributor.author | Пустовалова, Алла Александровна | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T22:03:06Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T22:03:06Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Сунь Чжилэй. Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — Т. 1 : Физика. — [С. 423-425]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501 | - |
| dc.description.abstract | This paper presents the structure analysis results of TiOxNy films, deposited using reactive magnetron sputtering with different O2/N2 flow ratio. The impact of increase of N2 flow upon the films structure has been studied. The analysis was carried out by X-ray diffraction method. The lattice parameters and phase composition were calculated using PowderCell 2.4. | en |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Изд-во ТПУ | ru |
| dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2017. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | биосовместимость | ru |
| dc.subject | имплантаты | ru |
| dc.subject | медицинское материаловедение | ru |
| dc.subject | гладкомышечные клетки | ru |
| dc.subject | гемосовместимость | ru |
| dc.title | Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления | ru |
| dc.title.alternative | Microstructure analysis of titanium oxynitride films deposited by reactive magnetron sputtering | en |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) | ru |
| local.description.firstpage | 423 | - |
| local.description.lastpage | 425 | - |
| local.filepath | conference_tpu-2017-C21_V1_p423-425.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\21527 | - |
| local.identifier.colkey | RU\TPU\col\21255 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\27837 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\31045 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.volume | 1 | - |
| local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
| local.conference.date | 2017 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2017-C21_V1_p423-425.pdf | 368,13 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.