1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЗолкин, А. С.ru
dc.contributor.authorСемерикова, А. И.ru
dc.date.accessioned2017-11-03T03:18:39Z-
dc.date.available2017-11-03T03:18:39Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationЗолкин А. С. Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) / А. С. Золкин, А. И. Семерикова // Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 240-242].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofСовременные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск, 2017.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectимплантация ионовru
dc.subjectпропанru
dc.subjectадгезияru
dc.subjectпленкиru
dc.subjectгерманийru
dc.subjectуглеродные пленкиru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectоптикаru
dc.subjectоптические свойстваru
dc.subjectтвердостьru
dc.subjectнаноиндентированиеru
dc.subjectионные пучкиru
dc.titleМягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge)ru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage240-
local.description.lastpage242-
local.filepathconference_tpu-2017-C39_p240-242.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\23338-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameСовременные технологии и материалы новых поколений-
local.conference.date2017-
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2017-C39_p240-242.pdf303,07 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record   Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.