Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Золкин, А. С. | ru |
dc.contributor.author | Семерикова, А. И. | ru |
dc.date.accessioned | 2017-11-03T03:18:39Z | - |
dc.date.available | 2017-11-03T03:18:39Z | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.citation | Золкин А. С. Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) / А. С. Золкин, А. И. Семерикова // Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 240-242]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706 | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.relation.ispartof | Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск, 2017. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | имплантация ионов | ru |
dc.subject | пропан | ru |
dc.subject | адгезия | ru |
dc.subject | пленки | ru |
dc.subject | германий | ru |
dc.subject | углеродные пленки | ru |
dc.subject | покрытия | ru |
dc.subject | оптика | ru |
dc.subject | оптические свойства | ru |
dc.subject | твердость | ru |
dc.subject | наноиндентирование | ru |
dc.subject | ионные пучки | ru |
dc.title | Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) | ru |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 240 | - |
local.description.lastpage | 242 | - |
local.filepath | conference_tpu-2017-C39_p240-242.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\23338 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.conference.name | Современные технологии и материалы новых поколений | - |
local.conference.date | 2017 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2017-C39_p240-242.pdf | 303,07 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.