Дифракционный метод контроля диаметра протяженных изделий

Abstract

Задача работы состоит в обзоре современных методов и средств измерения геометрических параметров изделий и исследовании некоторых аспектов применения интерференционных методов, позволяющих по распределению дифракционных экстремумов получать значение контролируемого геометрического параметра.

The task of the paper is to review modern methods and tools for measuring the geometric parameters of products and to study certain aspects of the application of interference methods that allow one to obtain the value of a controlled geometric parameter from the distribution of diffraction extrema.