Компьютерное моделирование поддержки жизненного цикла производства полупроводниковых изделий

Abstract

В работе рассматриваются проблема моделирования процессов в электронной промышленности как целостной системы. Приводятся результаты математического моделирования реальных данных с предприятия полупроводниковой индустрии Томска. В качестве независимой переменной выступает процент выхода годных изделий, остальные переменные представляют собой технологические параметры и результаты промежуточного контроля на всем протяжении технологического маршрута. Дается алгоритм выявления групп переменных, значимо влияющих на выход годных изделий, и исключения незначимых переменных для построения прогноза. Результаты имеют практическое значение для решения проблемы анализа больших объемов данных в производстве полупроводниковых приборов.

The paper deals with the problem of modeling processes in the electronics industry as an integrated system. The results of mathematical modeling of real data from the enterprise of the semiconductor industry of Tomsk are presented. As an independent variable is the percentage of yield of suitable products, the remaining variables are the technological parameters and the results of intermediate control throughout the entire technological route.An algorithm is provided for identifying groups of variables that significantly affect the yield of good products, and eliminating insignificant variables for constructing a forecast. The results are of practical importance for solving the problem of analyzing large amounts of data in the production of semiconductor devices.