1. Электронный архив ТПУ
  2. Образование
  3. Студенческие работы
  4. Выпускные квалификационные работы (ВКР)
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48235
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorМышкин, Вячеслав Федоровичru
dc.contributor.authorЗагузин, Илья Юрьевичru
dc.date.accessioned2018-06-07T05:08:49Z-
dc.date.available2018-06-07T05:08:49Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationЗагузин И. Ю. Структура пленок, напыляемых в магнитном поле с помощью плазмы магнетронного разряда : бакалаврская работа / И. Ю. Загузин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение ядерно-топливного цикла (ОЯТЦ) ; науч. рук. В. Ф. Мышкин. — Томск, 2018.-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/48235-
dc.description.abstractЦелью работы являлось исследование влияния слабого внешнего магнитного поля на морфологию поверхности плёнок, формируемых методом магнетронного распыления. В результате были определены размеры зерен в пленках, полученных под влиянием внешнего магнитного поля и без него.ru
dc.description.abstractThe aim of this paper was to research of the influence of weak external magnetic field on the morphology of the film's surface formed by magnetron sputtering. As a result, the grain sizes in the films obtained under the influence of an external magnetic field and without it were determined.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectмагнетронный разрядru
dc.subjectмагнетронная распылительная системаru
dc.subjectмагнитное полеru
dc.subjectнизкотемпературная плазмаru
dc.subjectиндексы Миллераru
dc.subjectmagnetron dischargeen
dc.subjectmagnetron sputtering systemen
dc.subjectmagnetic fielden
dc.subjectlow-temperature plasmaen
dc.subjectMiller indexesen
dc.titleСтруктура пленок, напыляемых в магнитном поле с помощью плазмы магнетронного разрядаru
dc.typeStudents work-
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ)::Отделение ядерно-топливного цикла (ОЯТЦ)-
local.institut7863-
local.localtypeСтуденческая работа-
dc.subject.oksvnk14.03.02-
local.thesis.levelБакалаврru
local.thesis.disciplineЯдерные физика и технологии-
local.local-vkr-id387149-
local.vkr-id27837-
local.stud-group0А4Д-
local.lichnost-id145069-
local.thesis.level-id1-
local.tutor-lichnost-id59543-
dc.subject.udc621.793.7:539.23:621.385.64:533.9-
Располагается в коллекциях:Выпускные квалификационные работы (ВКР)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
TPU556468.pdf1,75 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.