Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48571
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorЮрьева, Алёна Викторовнаru
dc.contributor.authorНиколаев, Михаил Вячеславовичru
dc.date.accessioned2018-06-09T07:20:15Z-
dc.date.available2018-06-09T07:20:15Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationНиколаев М. В. Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : магистерская диссертация / М. В. Николаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2018.-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/48571-
dc.description.abstractВ процессе работы проводились экспериментальные исследования структуры, шероховатости, электрического сопротивления и поверхности покрытий, полученных при разных условиях осаждения Осаждение медных покрытий из жидкой фазы с помощью МРС с испаряемой мишенью позволяет получить высокие скорости осаждения, низкое удельное электрическое сопротивление и хорошую адгезию пленок с подложкой по сравнению с осаждением из твердофазной МРС.ru
dc.description.abstractIn the course of the work, experimental studies of the structure, roughness, electrical resistance, and surface coatings obtained under different deposition conditions The deposition of copper coatings by means of an MSS with an evaporated target allows obtaining high deposition rates, low electrical resistivity, and good adhesion of the films to the substrate as compared to precipitation from the solid-state MSS.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectжидкофазная магнетронная распылительная системаru
dc.subjectскорость осажденияru
dc.subjectэлектропроводящие покрытияru
dc.subjectструктурные свойстваru
dc.subjectмедные покрытияru
dc.subjectliquid-phase magnetron sputtering systemen
dc.subjectdepostion rateen
dc.subjectelectroconductive coatingsen
dc.subjectstructural propertiesen
dc.subjectcopper coatingsen
dc.titleИсследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетрона с жидкофазной мишеньюru
dc.typeStudents work-
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ)::Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)-
local.institut7863-
local.localtypeСтуденческая работа-
dc.subject.oksvnk16.04.01-
local.thesis.levelМагистрru
local.thesis.disciplineТехническая физика-
local.local-vkr-id410748-
local.vkr-id27401-
local.stud-group0ДМ61-
local.lichnost-id158662-
local.thesis.level-id3-
local.tutor-lichnost-id123147-
dc.subject.udc621.793.1:669.3:621.385.64-
Располагается в коллекциях:Магистерские диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
TPU562830.pdf1,81 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.