Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48571
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Юрьева, Алёна Викторовна | ru |
dc.contributor.author | Николаев, Михаил Вячеславович | ru |
dc.date.accessioned | 2018-06-09T07:20:15Z | - |
dc.date.available | 2018-06-09T07:20:15Z | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier.citation | Николаев М. В. Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : магистерская диссертация / М. В. Николаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2018. | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48571 | - |
dc.description.abstract | В процессе работы проводились экспериментальные исследования структуры, шероховатости, электрического сопротивления и поверхности покрытий, полученных при разных условиях осаждения Осаждение медных покрытий из жидкой фазы с помощью МРС с испаряемой мишенью позволяет получить высокие скорости осаждения, низкое удельное электрическое сопротивление и хорошую адгезию пленок с подложкой по сравнению с осаждением из твердофазной МРС. | ru |
dc.description.abstract | In the course of the work, experimental studies of the structure, roughness, electrical resistance, and surface coatings obtained under different deposition conditions The deposition of copper coatings by means of an MSS with an evaporated target allows obtaining high deposition rates, low electrical resistivity, and good adhesion of the films to the substrate as compared to precipitation from the solid-state MSS. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | жидкофазная магнетронная распылительная система | ru |
dc.subject | скорость осаждения | ru |
dc.subject | электропроводящие покрытия | ru |
dc.subject | структурные свойства | ru |
dc.subject | медные покрытия | ru |
dc.subject | liquid-phase magnetron sputtering system | en |
dc.subject | depostion rate | en |
dc.subject | electroconductive coatings | en |
dc.subject | structural properties | en |
dc.subject | copper coatings | en |
dc.title | Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью | ru |
dc.type | Students work | - |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ)::Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) | - |
local.institut | 7863 | - |
local.localtype | Студенческая работа | - |
dc.subject.oksvnk | 16.04.01 | - |
local.thesis.level | Магистр | ru |
local.thesis.discipline | Техническая физика | - |
local.local-vkr-id | 410748 | - |
local.vkr-id | 27401 | - |
local.stud-group | 0ДМ61 | - |
local.lichnost-id | 158662 | - |
local.thesis.level-id | 3 | - |
local.tutor-lichnost-id | 123147 | - |
dc.subject.udc | 621.793.1:669.3:621.385.64 | - |
Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU562830.pdf | 1,81 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.