???jsp.display-item.identifier???
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614| ???metadata.dc.title???: | Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью |
| ???metadata.dc.contributor.author???: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| ???metadata.dc.contributor.advisor???: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| ???metadata.dc.subject???: | магнетронное распыление; высокоскоростное осаждение; покрытия; хром; никель; magnetron sputtering; high rate deposition; coating; chrome; nickel |
| ???metadata.dc.date.issued???: | 2018 |
| ???metadata.dc.identifier.citation???: | Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью : научный доклад / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Управление магистратуры, аспирантуры и докторантуры (УМАД), Отдел аспирантуры и докторантуры (ОАиД) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. |
| ???metadata.dc.description.abstract???: | В настоящей работе представлены результаты исследования свойств покрытий из хрома и никеля от режимов распыления "горячей" металлической мишени в плазме магнетронной распылительной системы. This work reports on the dependence of properties of Cr and Ni coatings on operation parameters of magnetron sputtering system with hot target. |
| ???metadata.dc.identifier.uri???: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614 |
| ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.appears??? | Научные доклады |
???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.files???
| ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.file??? | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.description??? | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.filesize??? | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.fileformat??? | |
|---|---|---|---|---|
| TPU563564.pdf | 238,96 kB | Adobe PDF | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.view??? |
???jsp.display-item.copyright???