???jsp.display-item.identifier??? http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614
???metadata.dc.title???: Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью
???metadata.dc.contributor.author???: Сиделёв, Дмитрий Владимирович
???metadata.dc.contributor.advisor???: Кривобоков, Валерий Павлович
???metadata.dc.subject???: магнетронное распыление; высокоскоростное осаждение; покрытия; хром; никель; magnetron sputtering; high rate deposition; coating; chrome; nickel
???metadata.dc.date.issued???: 2018
???metadata.dc.identifier.citation???: Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью : научный доклад / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Управление магистратуры, аспирантуры и докторантуры (УМАД), Отдел аспирантуры и докторантуры (ОАиД) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018.
???metadata.dc.description.abstract???: В настоящей работе представлены результаты исследования свойств покрытий из хрома и никеля от режимов распыления "горячей" металлической мишени в плазме магнетронной распылительной системы.
This work reports on the dependence of properties of Cr and Ni coatings on operation parameters of magnetron sputtering system with hot target.
???metadata.dc.identifier.uri???: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614
???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.appears???Научные доклады

???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.files???
???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.file??? ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.description??? ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.filesize??????org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.fileformat??? 
TPU563564.pdf238,96 kBAdobe PDF???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.view???


???jsp.display-item.copyright???