Исследование структурно-фазовых преобразований поверхностного слоя SiC-керамики, подвергнутой электронно-ионно-плазменной обработке

Abstract

В рамках данной работы проводилось облучение интенсивным импульсным низкоэнергетическим электронным пучком на установке "СОЛО" керамики из карбида кремния, полученной методом SPS и различных плотностях энергии пучка и системы "пленка (титан) / (SiC-керамика) подложка" при различном количестве импульсов. Выполнено исследование структуры методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, фазовый состав поверхностного слоя керамики исследовали методами рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов, дефектная субструктура, физико-механические характеристики В результате исследования получены образцы с измененным фазовым и структурным составами поверхностного слоя и увеличенными прочностными характеристиками.

In this work irradiation was carried out with an intense pulsed low-energy electron beam on a SOLO apparatus of silicon carbide ceramics obtained by the SPS method and various beam energy densities and a film (titanium) / (SiC-ceramic) substrate system with different pulses. The structure was examined by scanning and transmission electron microscopy, the phase composition of the surface layer of the ceramic was studied by X-ray and X-ray spectral analysis, defective substructure, physical and mechanical characteristics. The samples were obtained with changed phase and structural compositions of the surface layer and increased strength characteristics.