Моделирование магнетронной распылительной системы методом конечных элементов

Abstract

В работе проведено моделирование магнетронной распылительной системы методом конечных элементов и методом Галеркина. Получены распределения концентрации и скоростей носителей заряда, распределение электрического потенциала и магнитного поля, рассмотрены временные зависимости физических величин. Разработано программное обеспечение для моделирования сложных физических задач. Проведена верификация расчетного алгоритма на примере решения модельных задач. Отличительной особенностью исследуемой модели от существующих является учет нестационарного и конвективного слагаемых в уравнении для переноса скорости электрона и максимально точная реализация всех слагаемых в дифференциальном уравнении (в рамках метода Галеркина).

The dissertation examines the modeling of a magnetron sputtering system by finite element analysis and Galerkin method. The model makes it possible to calculate the concentration, velocity, temperature, electrical potential and magnetic field. The methods and the code developed according to the model are usable for modeling complex physical tasks. The work also includes analysis and verification of results.