Микроэлектромеханические сенсоры

Abstract

Цель работы – разработка микромеханического гироскопа, с расширенной полосой пропускания. В процессе исследования проводилась разработка функциональной схемы и составление математической модели акселерометра, проводился частотный и статический анализ конструкции, расчет основных параметров, рассмотрены вопросы технологии, социальной ответственности и финансового менеджмента. В результате исследования разработана конструкция однокомпонентного микромеханического гироскопа, с расширенной полосой пропускания.

The aim of the work is the development of a micromechanical gyroscope, with an extended bandwidth. In the process of research, a functional diagram was developed and a mathematical model of the accelerometer was compiled, frequency and static analysis of the constructions, calculation of the main parameters, considered issues of technology, social responsibility and financial management were carried out. As a result of research of anthropogenic gyroscope, with extended bandwidth.