Лазерное разрушение на границе раздела двухслойной системы

Abstract

Рассмотрена задача импульсного лазерного нагрева двухслойной системы, в которой первый слой является прозрачным по отношению к воздействующему потоку, а второй - сильнопоглощающим. Методом численного моделирования получены температурные профили нагрева двухслойной системы при различных длительностях воздействующего импульса. Показано, что положение максимума нагрева не соответствует границе раздела сред. Полученные результаты использованы при анализе технологического процесса лазерного отслоения кристалла нитрида галлия от сапфировой подложки.

The paper considers the issue of pulse laser heating of double-layer system in which the first layer is transparent relative to the actuating flow and the second is a highly lossy one. Temperature profiles of heating double-layer system at different lengths of actuating pulse have been obtained by the numerical simulation technique. It was shown that heating maximum position does not conform to medium interface. The results obtained were used when analyzing the process of laser separation of gallium nitride crystal from sapphire substrate.