1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГрудинин, Владислав Алексеевичru
dc.contributor.authorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.date.accessioned2018-12-05T06:13:50Z-
dc.date.available2018-12-05T06:13:50Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationГрудинин В. А. Сильноточное магнетронное распыление Al мишени / В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 286-287].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofПерспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск, 2018.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectсильноточное распылениеru
dc.subjectмишениru
dc.subjectтонкопленочные покрытияru
dc.subjectионно-плазменные установкиru
dc.subjectтеплопроводностьru
dc.subjectалюминийru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectосаждениеru
dc.titleСильноточное магнетронное распыление Al мишениru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage286-
local.description.lastpage287-
local.filepathconference_tpu-2018-C125_p286-287.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\28842-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\42339-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34510-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameПерспективные материалы конструкционного и медицинского назначения-
local.conference.date2018-
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2018-C125_p286-287.pdf330,26 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record   Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.