Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Грудинин, Владислав Алексеевич | ru |
dc.contributor.author | Сиделёв, Дмитрий Владимирович | ru |
dc.date.accessioned | 2018-12-05T06:13:50Z | - |
dc.date.available | 2018-12-05T06:13:50Z | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier.citation | Грудинин В. А. Сильноточное магнетронное распыление Al мишени / В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 286-287]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925 | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.relation.ispartof | Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск, 2018. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | магнетронное распыление | ru |
dc.subject | сильноточное распыление | ru |
dc.subject | мишени | ru |
dc.subject | тонкопленочные покрытия | ru |
dc.subject | ионно-плазменные установки | ru |
dc.subject | теплопроводность | ru |
dc.subject | алюминий | ru |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | осаждение | ru |
dc.title | Сильноточное магнетронное распыление Al мишени | ru |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 286 | - |
local.description.lastpage | 287 | - |
local.filepath | conference_tpu-2018-C125_p286-287.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\28842 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\42339 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\34510 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.conference.name | Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения | - |
local.conference.date | 2018 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2018-C125_p286-287.pdf | 330,26 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.