Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorМышкин, Вячеслав Фёдоровичru
dc.contributor.authorЗагузин, И. Ю.ru
dc.contributor.authorЛютиков, О. Н.ru
dc.date.accessioned2019-01-22T05:51:52Z-
dc.date.available2019-01-22T05:51:52Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationЗагузин И. Ю. Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления / И. Ю. Загузин, О. Н. Лютиков ; науч. рук. В. Ф. Мышкин // Изотопы: технологии, материалы и применение : материалы V Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 19-23 ноября 2018 г. — Томск : Графика, 2018. — [С. 42].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofИзотопы: технологии, материалы и применение : материалы V Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 19-23 ноября 2018 г. — Томск, 2018.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectнапылениеru
dc.subjectмагнитные поляru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectфизико-химические процессыru
dc.subjectизотопный составru
dc.titleСтруктура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыленияru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage42-
local.filepathconference_tpu-2018-C84_p42.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\29330-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameИзотопы: технологии, материалы и применение-
local.conference.date2018-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2018-C84_p42.pdf275,92 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.