Исследование свойств медных покрытий, полученных в режиме самораспыление при работе магнетрона с испаряющейся мишенью

Abstract

Объектом исследования: Медные пленки, полученные с помощью МРС с жидкой мишенью. Цель работы: Исследовать влияние различных режимов работы, источников питания на свойства полученных тонких медных пленок в зависимости от состояния мишени. В результате исследования обнаружено, что шероховатость и структура тонких пленок не зависит от источника питания; для медных пленок толщиной 1мкм шероховатость увеличивается при использовании жидкой мишени.

The object of the research: Copper films obtained using liquid-crystal microscopy with a liquid target. Objective: To investigate the effect of various operating modes, power sources on the properties of the obtained thin copper films depending on the state of the target. The study found that the roughness and structure of thin films does not depend on the power source; for copper films with a thickness of 1 µm, the roughness increases with the use of a liquid target.