1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorЛаптев, Роман Сергеевичru
dc.contributor.authorЛомыгин, Антонru
dc.date.accessioned2019-09-25T04:48:10Z-
dc.date.available2019-09-25T04:48:10Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationЛомыгин А. Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок / А. Ломыгин ; науч. рук. Р. С. Лаптев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 208-210].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833-
dc.description.abstractModern technologies cannot do without materials with special characteristics, some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various areas ranging from optics to protective films from any effects. The characteristics of these films mainly depend on two factors of composition and structure. These factors must be carefully controlled, but one method of controlling the elemental composition is glow discharge spectrometry. This study aims to study the sputtering modes for a pulsed radio frequency source of a glow discharge spectrometer DG-Profiler 2.en
dc.language.isoruen
dc.publisherИзд-во ТПУru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2019.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectрежимы работыru
dc.subjectспектрометрыru
dc.subjectтлеющие разрядыru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectспектрометрияru
dc.subjectнанокомпозитные покрытияru
dc.subjectимпульсные источникиru
dc.subjectрадиочастотные источникиru
dc.subjectподложкиru
dc.titleПодбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленокru
dc.title.alternativeSelection of operation modes of the radio-frequency source of glow disharge optical emission spectrometer GD-Profiler 2 for analysis of thin filmsen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage208-
local.description.lastpage210-
local.filepathconference_tpu-2019-C21_V1_p208-210.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\30429-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\44438-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наук-
local.conference.date2019-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2019-C21_V1_p208-210.pdf928,5 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.