Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/59858| Название: | Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства |
| Авторы: | Сунь, Чжилэй |
| Научный руководитель: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Ключевые слова: | оксинитрид титана; магнетронное распыление; фазовый переход; запрещенная зона; смачиваемость; titanium oxynitride; magnetron sputtering; phase transition; band gap; wettability |
| Дата публикации: | 2020 |
| Библиографическое описание: | Сунь Ч. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : научный доклад / Ч. Сунь ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Управление магистратуры, аспирантуры и докторантуры (УМАД), Отдел аспирантуры и докторантуры (ОАиД) ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020. |
| Аннотация: | Исследование влияния легирование азотом и поседующего отжига на фазовый состав, запрещенную зону и смачиваемость пленки оксида титана. Investigation of the effect of nitrogen doping and subsequent annealing on the phase composition, band gap, and wettability of titanium oxide film. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/59858 |
| Располагается в коллекциях: | Научные доклады |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU909210.pdf | 134,44 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.