Формирование биоактивных покрытий методом ВЧ-магнетронного распыления мишеней сложного состава в атмосфере различных рабочих газов

Abstract

В работе исследовано влияние рабочего газа (Ne, Ar, Kr, Xe) на физико-химические, механические и биологические свойства покрытий, сформированных методом высокочастотного магнетронного распыления мишеней из гидроксиапатита. Установлено, что покрытия, сформированные в атмосфере Xe полностью аморфные, и имеют высокую адгезию к подложке. Также было установлено, что распыление мишеней ГАП в Ar и Kr приводит к образованию покрытий с близким к стехиометрическому соотношению Ca/P для ГАП. Покрытия, сформированные в Ne и Xe, имеют более высокое отношение Ca/P, чем стехиометрический ГАП.

In the work, the study of the influence of the working gas (Ne, Ar, Kr, Xe) on the physicochemical, mechanical, and biological properties of coatings formed by radiofrequency magnetron sputtering of targets from hydroxyapatite. It was found that coatings formed in Xe are completely amorphous and have high adhesion to the substrate. It was also found that sputtering of HA targets in Ar and Kr leads to the formation of coatings with a Ca/P similar to the stoichiometric ratio of HA. Coatings formed in Ne and Xe have a higher Ca/P ratio than stoichiometric HA.