Кальций-фосфатные мишени для ВЧ-магнетронного осаждения биосовместимых покрытий

Abstract

Объектом исследования являются кальцийфосфатные мишени из чистого гидроксиапатита, медь- и цинк-замещенных гидроксиапатитов и получаемые с помощью их распыления на вакуумной магнетронной установке биопокрытия. Цель работы – разработка процесса изготовления кальцийфосфатных мишеней с заданными элементным и фазовым составами и необходимыми физико-механическими свойствами для осаждения высокочастотных магнетронных биосовместимых покрытий. В результате исследования выявлено, что порошки чистого гидроксиапатита, медь- и цинк-замещенных гидроксиапатитов с удельной поверхностью в диапазоне 40-60 м2/г являются предпочтительными для изготовления мишеней с низкой пористостью и высокими значениями микротвердости и плотности, необходимыми для осаждения ВЧ-магнетронных кальцийфосфатных покрытий.

The object of the study is calcium phosphate targets from pure, copper and zinc substituted hydroxyapatite and biocoatings which obtained by sputtering the targets using vacuum magnetron installation. The research is aimed to develop manufacturing technology of calcium phosphate targets with the known phase and elemental composition and the necessary physical and mechanical properties for deposition of RF-magnetron biocompatible coatings. It was found that powders from pure hydroxyapatite, copper and zinc substituted hydroxyapatite with specific surface area in the range of 40-60 m2/g are more desirable for the formation and sintering targets with low porosity and high values ??of microhardness and density required for the deposition of RF-magnetron calcium phosphate coatings.