Исследование закономерностей модификации стали 40Хвысокоинтенсивным и пучками ионов азота в условиях регулируемой энергии ионов

Abstract

В данной работе представлены результаты по исследованию формирования высокоинтенсивных пучков ионов азота контролируемой энергии за счёт системы формирования пучка основанной на "accel-decel" принципе фокусировки и плотностью ионного тока десятки мА на сантиметр квадратный и применение полученных пучков для ионной имплантации в сталь марки 40Х с целью уменьшения распыления поверхности.

This paper presents the results of a study of the high-intensity beams formation of nitrogen ions with controlled energy due to the beam-forming system based on the accel-decel focusing principle. The ion current density was reached tens of mA per square centimeter. The resulting beams were used for ion implantation in 40X steel in order to reduce surface spraying.