Особенности осаждения хромовых покрытий при работе магнетронной распылительной системы с сублимирующей мишенью

Abstract

Результаты исследования необходимы для разработки новой высокопроизводительной технологии осаждения высококачественных защитных покрытий. Объектом исследования являются магнетронный разряд, функционирующий на парах мишени, изготовленной из хрома, а также свойства хромовых покрытий. Цель работы – выявить закономерности функционирования разряда с сублимирующей хромовой мишенью, в том числе в режиме самораспыления, а также влияние режима самораспыления на коррозионную стойкость хромовых покрытий, осаждённых в этих условиях. В процессе исследования определялась минимальная мощность, при которой магнетронная распылительная система стабильно функционировала в режиме самораспыления. Изучался механизм поддержания магнетронного разряда при использовании сублимирующей хромовой мишени.

The research results are necessary for the development of a new high-performance technology for the deposition of high-quality protective coatings. The object of study is the magnetron discharge, which functions on the pairs of a target made of chromium, as well as the properties of chromium coatings. The purpose of the work is to reveal the laws governing the functioning of a discharge with a sublimating chromium target, including in the self-atomization mode, as well as the influence of the self-atomization mode on the corrosion resistance of chromium coatings deposited under these conditions. During the study, the minimum power was determined at which the magnetron sputtering system stably functioned in the self-atomization mode.