Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Пичугин, Владимир Федорович | en |
dc.contributor.author | Сунь Чжилэй | ru |
dc.contributor.author | Конищев | ru |
dc.contributor.author | Максим Евгеньевич | en |
dc.date.accessioned | 2020-09-23T06:25:09Z | - |
dc.date.available | 2020-09-23T06:25:09Z | - |
dc.identifier.citation | Сунь Чжилэй Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТУСУР, 2020. — Т. 1 : Физика. — [С. 236-238]. | en |
dc.identifier.issn | 2020 | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569 | - |
dc.description.abstract | In the present paper we investigated nitrogen-doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering with different regimes. The influence of reactive atmosphere and substrate bias on film deposition rate, refractive index, phase structure and topography has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized with maximum deposition rate. Addition of argon intro reactive atmosphere and substrate bias has led to the amorphous structure and flattened surface of TiO[x]N[y] films. | de |
dc.format.mimetype | Researches | - |
dc.language.iso | Conference Paper | en |
dc.language.iso | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dc.language.iso | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.publisher | Изд-во ТУСУР | en |
dc.relation | https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ | - |
dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2020 | en |
dc.rights.uri | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.rights.uri | Attribution-NonCommercial 4.0 International | - |
dc.subject | оксид титана | en |
dc.subject | магнетронное распыление | en |
dc.subject | осаждение | en |
dc.subject | фазовый состав | en |
dc.subject | тонкие пленки | en |
dc.subject | постоянный ток | en |
dc.title | Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением | en |
dc.title.alternative | Investigation of nitrogen-doped titanium oxide films deposited using magnetron sputtering | de |
local.department | RU\TPU\conf\33244 | ru |
local.description.firstpage | Доклад | - |
local.description.lastpage | 236 | - |
local.filepath | 238 | - |
local.identifier.bibrec | ru | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\pers\46146 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\pers\27837 | - |
local.identifier.perskey | conference_tpu-2020-C21_V1_p236-238.pdf | - |
local.issue | 1 | - |
local.volume | 2020 | - |
local.thesis.level | application/pdf | ru |
local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | en |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2020-C21_V1_p236-238.pdf | 557,69 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.