Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273| Название: | Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| Авторы: | Ли Цзень Фень |
| Научный руководитель: | Ремнев, Геннадий Ефимович |
| Ключевые слова: | тонкие пленки; получение; пленки арсенида галия; импульсные мощные ионные пучки; воздействие; осаждение; абляционная плазма; авторефераты диссертаций |
| Дата публикации: | 2006 |
| Библиографическое описание: | Ли Цзень Фень. Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ли Цзень Фень ; Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев. — Томск, 2006. — 18 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2006-26.pdf | 1,3 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.