1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБлейхер, Галина Алексеевнаru
dc.contributor.authorКривобоков, Валерий Павловичru
dc.contributor.authorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorГрудинин, Владислав Алексеевичru
dc.contributor.authorПопов, Р. В.ru
dc.date.accessioned2020-11-02T01:59:32Z-
dc.date.available2020-11-02T01:59:32Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationИсследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, Д. В. Сиделёв [и др.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров : сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г. — Томск : Ветер, 2020. — [С. 22].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/RFBR//18-08-00454-
dc.relation.ispartofФизико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров : сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectсамораспылениеru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectметаллические мишениru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectосаждениеru
dc.titleИсследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенямиru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage22-
local.filepathconference_tpu-2020-C49_V1_p21-22.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\33778-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28948-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\21971-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34510-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\42339-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameФизико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадровru
local.conference.date2020-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2020-C49_V1_p21-22.pdf569,5 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.