Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Пичугин, Владимир Федорович | ru |
dc.contributor.author | Сунь Чжилэй | ru |
dc.date.accessioned | 2020-11-09T03:15:04Z | - |
dc.date.available | 2020-11-09T03:15:04Z | - |
dc.date.issued | 2020 | - |
dc.identifier.citation | Сунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Сунь Чжилэй ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.rights | Attribution-NonCommercial 4.0 International | en |
dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ | - |
dc.subject | Пленки тонкие — Получение | ru |
dc.subject | Пленки тонкие — Структура | ru |
dc.subject | диссертации | ru |
dc.subject | закономерности | ru |
dc.subject | формирование | ru |
dc.subject | оксинитриды титана | ru |
dc.subject | магнетронное распыление | ru |
dc.subject | структурные особенности | ru |
dc.subject | тонкие пленки | ru |
dc.subject | оксиды титана | ru |
dc.subject | биомедицинское применение | ru |
dc.subject | осаждение | ru |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | кристаллические структуры | ru |
dc.subject | преломление | ru |
dc.subject | фазовый состав | ru |
dc.subject | шероховатости | ru |
dc.subject | отжиг | ru |
dc.subject | молекулярный состав | ru |
dc.subject | смачивание | ru |
dc.subject | спектроскопия | ru |
dc.subject | термическая обработка | ru |
dc.subject | фотокаталитическая активность | ru |
dc.title | Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 | ru |
dc.type | Thesis | en |
dc.type | Dissertation | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/authorVersion | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.filepath | dis00392.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\377075 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\46146 | - |
local.localtype | Диссертация | ru |
dc.subject.oksvnk | 01.04.07 | - |
local.thesis.level | Кандидат наук | ru |
local.thesis.degree | Кандидат физико-математических наук | ru |
local.thesis.discipline | Физика конденсированного состояния | ru |
Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
dis00392.pdf | 7,68 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.