1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЛомыгин, Антонru
dc.contributor.authorЛаптев, Роман Сергеевичru
dc.contributor.authorШулепов, Иван Анисимовичru
dc.date.accessioned2020-11-27T05:11:49Z-
dc.date.available2020-11-27T05:11:49Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationЛомыгин А. Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий / А. Ломыгин, Р. С. Лаптев, И. А. Шулепов // Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения : сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 21–25 сентября 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2020. — [С. 51-52].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективные материалы конструкционного и функционального назначения : сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 21–25 сентября 2020 г.ru
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectкоррекцияru
dc.subjectпрофилиru
dc.subjectинтенсивностьru
dc.subjectраспылениеru
dc.subjectнеравномерностьru
dc.subjectоптический спектрометрru
dc.subjectтлеющие разрядыru
dc.subjectмногослойные покрытияru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectэлементыru
dc.subjectэрозияru
dc.titleКоррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытийru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage51-
local.description.lastpage52-
local.filepathconference_tpu-2020-C125_p51-52.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\33998-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\44438-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\29924-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28219-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameПерспективные материалы конструкционного и функционального назначенияru
local.conference.date2020-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2020-C125_p51-52.pdf605,34 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.