1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorГрудинин, Владислав Алексеевичru
dc.contributor.authorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorБлейхер, Галина Алексеевнаru
dc.date.accessioned2020-12-10T01:52:55Z-
dc.date.available2020-12-10T01:52:55Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationГрудинин В. А. Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома / В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв, Г. А. Блейхер // Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 26-30 октября 2020 г. — Томск : Томский политехнический университет, 2020. — [С. 159-160].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/RFBR//20-38-90134-
dc.relation.ispartofСовременные проблемы машиностроения : сборник трудов XIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 26-30 октября 2020 г.ru
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectвысокоскоростное осаждениеru
dc.subjectмагнетронное осаждениеru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectнитрид хромаru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectработоспособностьru
dc.subjectмишениru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectреактивные газыru
dc.titleВысокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хромаru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage159-
local.description.lastpage160-
local.filepathconference_tpu-2020-C45_p159-160.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\34170-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\42339-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34510-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28948-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameСовременные проблемы машиностроенияru
local.conference.date2020-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2020-C45_p159-160.pdf666,78 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.