Оптические и механические свойства покрытий на основе Al-Si-N

Abstract

В данной работе исследованы оптические и механические свойства покрытий Al-Si-N, наносимых на кварцевое стекло и алюминиевую подложки. Под действием оптического излучения и электронного пучка наблюдается интенсивная люминесценция пленок Al-Si-N со сложными спектрами излучения. Спектры люминесценции, возбуждаемые различными способами, не совпадают. Фотолюминесценция, возбуждаемая излучением с энергией 4,47 эВ, попадающим в непрозрачный диапазон пленок, вероятно, связана с поверхностными центрами люминесценции. Катодолюминесценцию дают, в основном, центры, находящиеся в объеме. Элементный состав пленок влияет на люминесцентные и механические свойства пленок.

In this study, we analyzed the optical and mechanical properties of Al-Si-N coatings applied on silica glass and aluminum backing. Under the effect of optical radiation and electron beam, intense luminescence of Al-Si-N films with complex emission spectra is observed. Photoluminescence excited by the radiation with energy of 4.47 eV, which falls within the opaque range of the films, is likely connected with surface luminescence centers. The film luminescence demonstrates that luminescence spectra excited in different ways do not coincide. This indicates that there are different luminescence centers in Al-Si-N films. These centers are excited with different efficiency at different types of excitation.