Исследование условий осаждения покрытий на основе нитрида хрома при работе магнетрона с горячей мишенью

Abstract

В данной магистерской диссертации были исследованы механизмы формирования потоков атомарных частиц хрома, эмитируемых с поверхности горячей хромовой мишени в зависимости от мощности магнетрона. Была изучена кинетика поступления частиц на поверхность растущей пленки при формировании покрытий на основе CrN, а также проведен анализ потоков энергии и изменения температуры подложки в зависимости от мощности магнетрона. В результате исследований были получены зависимости скорости роста покрытий из хрома и на основе нитрида хрома от мощности магнетрона, которые показали, что за счет возникновения сублимации на поверхности мишени скорость осаждения покрытий увеличивается в несколько раз.

In this master's thesis, the mechanisms of the formation of fluxes of atomic particles of chromium emitted from the surface of a hot chromium target were investigated, depending on the power of the magnetron. The kinetics of the arrival of particles on the surface of a growing film during the formation of coatings based on CrN was studied, and an analysis of energy fluxes and changes in the substrate temperature depending on the magnetron power was carried out. As a result of the studies, the dependences of the growth rate of chromium and chromium nitride coatings on the power of the magnetron were obtained, which showed that due to the occurrence of sublimation on the target surface, the deposition rate of the coatings increases several times.