Применение высокоинтенсивной имплантации ионов азота низкой энергии для обработки внутренних поверхностей отверстий

Abstract

В данной работе впервые была показана возможность применения методов высокоинтенсивной имплантации ионов азота низких энергий для обработки внутренних поверхностей отверстий. Цель работы: продемонстрировать возможности данного метода для обработки внутренних поверхностей отверстий. Объект исследования: высокоинтенсивные пучки ионов азота низких энергий. Для выполнения исследований был разработан коллектор альтернативной формы, имитирующий отверстие детали. В работе показано, что использование данного метода позволяет получить концентрацию азота, достигающую 22 ат.% и глубину имплантации вплоть до 12 мкм, при времени обработки 60 минут. Предложен способ обработки более протяженных отверстий.

In this work, the possibility of using the methods of high-intensity implantation of low-energy nitrogen ions for processing the inner surfaces of holes was shown for the first time. Purpose of the work: to demonstrate the capabilities of this method for processing the inner surfaces of holes. Research object: high-intensity beams of low-energy nitrogen ions. To carry out the research, an alternatively shaped manifold was developed to simulate the hole in the part. It is shown in the work that the use of this method makes it possible to obtain a nitrogen concentration reaching 22 at.% And a depth of implantation up to 12 ?m, with a treatment time of 60 minutes. A method for processing longer holes is proposed.