Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67247
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorГусс, Людмила Евгеньевнаru
dc.date.accessioned2021-06-17T12:17:08Z-
dc.date.available2021-06-17T12:17:08Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationГусс Л. Е. Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : магистерская диссертация / Л. Е. Гусс ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2021.-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/67247-
dc.description.abstractНапыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. В процессе исследования были получены данные о влиянии мощности магнетрона на структурные и функциональные свойства карбида титана. Были определены оптимальные режимы для получения карбида титана с составом, наиболее близким к стехиометрическому.ru
dc.description.abstractSputtering of titanium carbide films using a dual magnetron sputtering system. In the course of the study, data were obtained on the effect of the power of the magnetron on the structural and functional properties of titanium carbide. Optimal conditions for obtaining titanium carbide with a composition closest to stoichiometric were determined.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectмагнетронная дуальная распылительная системаru
dc.subjectкарбид титанаru
dc.subjectфункциональные свойстваru
dc.subjectструктурные свойстваru
dc.subjectизносостойкое покрытиеru
dc.subjectmagnetron dual sputtering systemen
dc.subjecttitanium carbideen
dc.subjectfunctional propertiesen
dc.subjectstructural propertiesen
dc.subjectwear-resistant coatingen
dc.titleНапыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системыru
dc.typeStudents work-
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ)::Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)-
local.institut7863-
local.localtypeСтуденческая работа-
dc.subject.oksvnk16.04.01-
local.thesis.levelМагистрru
local.thesis.disciplineТехническая физика-
local.local-vkr-id986792-
local.vkr-id48017-
local.stud-group0ДМ91-
local.lichnost-id172202-
local.thesis.level-id3-
local.tutor-lichnost-id156313-
dc.subject.udc621.385.64:539.216.2:621.793.7:669.295-
Располагается в коллекциях:Магистерские диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
TPU1168063.pdf1,35 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.