Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/68237
Title: Газофазный рост монокристаллов алмаза в плазме аномального тлеющего разряда
Other Titles: Gas-phase growth of diamond monocrystals in the plasma of an abnormal glow discharge
Authors: Митулинский, Александр Сергеевич
Хоробрый, Алексей Владимирович
metadata.dc.contributor.advisor: Линник, Степан Андреевич
Keywords: рост; монокристаллы; алмазы; плазма; тлеющие разряды; дефекты; осаждение из газовой фазы
Issue Date: 2021
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Митулинский, А. С. Газофазный рост монокристаллов алмаза в плазме аномального тлеющего разряда / А. С. Митулинский, А. В. Хоробрый ; науч. рук. С. А. Линник // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 27-30 апреля 2021 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2021. — Т. 1 : Физика. — [С. 235-237].
Abstract: In this work the growth of monocrystalline diamond samples was studied. Chemical vapor deposition method with plasma of an abnormal glow discharge was used for performing the growth. Monocrystalline diamond was used as a substrate. As a result of the experiment monocrystalline diamond plates were observed with thickness higher than the original substrate thickness.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/68237
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2021-C21_V1_p235-237.pdf422,52 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.