Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Грудинин, Владислав Алексеевич | ru |
dc.contributor.author | Рунц, А. А. | ru |
dc.contributor.author | Блейхер, Галина Алексеевна | ru |
dc.date.accessioned | 2021-12-10T04:59:42Z | - |
dc.date.available | 2021-12-10T04:59:42Z | - |
dc.date.issued | 2021 | - |
dc.identifier.citation | Грудинин, В. А. Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий / В. А. Грудинин, А. А. Рунц, Г. А. Блейхер // Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XIV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 25-30 октября 2021 г. — Томск : Томский политехнический университет, 2021. — [С. 133-134]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/RFBR//20-38-90134 | - |
dc.relation.ispartof | Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XIV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 25-30 октября 2021 г. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.rights | Attribution-NonCommercial 4.0 International | en |
dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ | - |
dc.subject | плотность | ru |
dc.subject | мощность | ru |
dc.subject | магнетронные диоды | ru |
dc.subject | скорость | ru |
dc.subject | осаждение | ru |
dc.subject | фазовый состав | ru |
dc.subject | покрытия | ru |
dc.subject | реактивное магнетронное распыление | ru |
dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru |
dc.subject | нитрид хрома | ru |
dc.title | Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий | ru |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | - |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 133 | - |
local.description.lastpage | 134 | - |
local.filepath | conference_tpu-2021-C45_p133-134.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\35682 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\42339 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\28948 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.conference.name | Современные проблемы машиностроения | ru |
local.conference.date | 2021 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2021-C45_p133-134.pdf | 600,38 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.