Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70062
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Сурменев, Роман Анатольевич | ru |
dc.contributor.author | Мельников, Евгений Сергеевич | ru |
dc.contributor.author | Мухаметкалиев, Тимур Мухамедрашидович | ru |
dc.date.accessioned | 2022-03-15T05:44:06Z | - |
dc.date.available | 2022-03-15T05:44:06Z | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.citation | Мельников, Е. С. Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра / Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 53]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70062 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
dc.relation.ispartof | Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.rights | Attribution-NonCommercial 4.0 International | en |
dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ | - |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | ВЧ-разряды | ru |
dc.subject | распыление | ru |
dc.subject | мишени | ru |
dc.subject | зонды Ленгмюра | ru |
dc.subject | энергетические характеристики | ru |
dc.subject | покрытия | ru |
dc.subject | биосовместимые покрытия | ru |
dc.subject | пленки | ru |
dc.title | Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра | ru |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | - |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 53 | - |
local.filepath | conference_tpu-2014-C96_p53.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\9393 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\34111 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\32477 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.conference.name | Функциональные материалы: разработка, исследование, применение | ru |
local.conference.date | 2014 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2014-C96_p53.pdf | 190,96 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.