Высокоскоростное магнетронное осаждение оксидных и нитридных покрытий

Abstract

Работа посвящена разработке технологии высокоскоростного реактивного магнетронного осаждения покрытий на основе соединений хрома и азота. Продемонстрирована возможность увеличения скорости осаждения покрытий вплоть до одного порядка. Показаны основные закономерности процесса и способы управления свойствами получаемых покрытий. Выявленные закономерности позволяют создать технологию с высокой скоростью осаждения и приемлемыми эксплуатационными характеристиками покрытий.

The work is focused on the development of technology for high-rate reactive magnetron deposition of coatings based on chromium and nitrogen compounds. The possibility of increasing the coating deposition rate up to one order of magnitude is demonstrated. The main patterns of the process and methods of controlling the properties of the obtained coatings are shown.The revealed regularities make it possible to create a technology with high deposition rate and acceptable performance characteristics of the coatings.