Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71766| Название: | Моделирование формирования металлических покрытий при работе магнетронных распылительных систем |
| Авторы: | Оруджов, Эльвин Эльшад оглы |
| Научный руководитель: | Блейхер, Галина Алексеевна |
| Ключевые слова: | магнетронное распыление; моделирование; покрытия; испаряющаяся мишень; морфология; структура; magnetron sputtering; modeling; coatings; liquid target; morphology; structure |
| Дата публикации: | 2022 |
| Библиографическое описание: | Оруджов Э. Э. Моделирование формирования металлических покрытий при работе магнетронных распылительных систем : бакалаврская работа / Э. Э. Оруджов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение ядерно-топливного цикла (ОЯТЦ) ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2022. |
| Аннотация: | Выявление особенностей формирования структуры и морфологии металлических покрытий при магнетронном распылении испаряющихся мишеней на примере осаждения алюминия Discovering the features of structure and morphology formation of metal coatings formed by liquid target magnetron sputtering on the example of aluminium deposition |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71766 |
| Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU1369116.pdf | 1,49 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.