Осаждение покрытий с МАХ-фазой из плазмы магнетронного разряда

Abstract

Объектом исследования является покрытие на основе MAX-фазы Ti-Al-C. Цель работы – определить режимы магнетронного распыления для получения покрытия Ti3AlC2 в системе трех планарных магнетронов В процессе исследования рассчитаны параметры, при которых элементный состав синтезированных покрытий (в системе трёх планарных магнетронов) совпадает с составом Ti3AlC2, получены данные о фазовом составе осаждённых покрытий до и после отжига в вакуумной печи, изучены их механические свойства (твёрдость и модуль Юнга).

The object of the study is a coating based on the MAX-phase Ti-Al-C. The aim of the work is to determine the modes of magnetron sputtering to obtain a Ti3AlC2 coating in a system of three planar magnetrons During the study, the parameters were calculated at which the elemental composition of the synthesized coatings (in a system of three planar magnetrons) coincides with the composition of Ti3AlC2, data were obtained on the phase composition of the deposited coatings before and after annealing in a vacuum furnace, and their mechanical properties (hardness and Young's modulus) were studied.